产品详情
一、任氏巨源微波化学气相沉积炉特点：
1. 高温微波化学气相沉积炉，采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的非易燃易爆材料，
2. 升温速率快，智能控温，可分段设置，控温稳定度好，热惯性小。同时加热多个温区，且加热区长度可调。
3. 可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵，可达10-3Pa真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；
5、保护管采用耐高温合金管 ，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；
6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；
7、真空系统：机械泵 扩散泵和分子泵，真空密度计
8、可通过电脑全程监控和调试；
二、任氏巨源微波化学气相沉积炉产品参数：
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型号/model |
WBMW-QXCJ4 |
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可加热材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
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微波频率 |
2.45GHZ±50MHz |
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加热方式 |
纯微波加热、~传统电加热、混合加热 |
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微波功率/KW |
4 (功率可调) |
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温度测试元件 |
微波场专用传感器 |
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控温精度/℃ |
±2（微波场专用传感器） |
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加热管材质 |
石英管 |
高温合金管 |
刚玉管 |
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加热温度/℃ |
1200 |
1200 |
1600 |
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管径(外径/内经X长度)/mm |
∅45/∅35×1200，可选配，外径∅60 |
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加热速度 |
≦200 |
升温速率不限 |
≦50 |
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恒温区长度 |
标配恒温区长度100mm，恒温去长度100mm以上可定制 |
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温区 |
可多温区同时加热 |
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气路法兰 |
304不锈钢法兰 |
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质量流量控制 |
美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器 气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件 |
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气路数量 |
2路或3路 |
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流量范围 |
0-1SLM(标准升/分，可选配）氮气标定 |
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精度 |
±0.2%F.S |
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响应时间 |
≤1sec |
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工作压力 |
进气压力0.05-0.35Mpa(表压力），流量规格≤10SLM |
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系统连接方式 |
采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 |
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系统真空范围 |
标准大气压～10-3Pa |
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真空泵 |
简单机械泵抽真空和不锈钢法兰 10-1Pa真空机械泵及真空计 10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计 10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计 |
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炉腔尺寸/mm |
700X350X530 |
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加热腔(标配) |
0.5-3L 2个 |
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加热腔大小 |
0.94L，2.12L，3.8L |
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升温速率(标配) |
0～1000℃/min可根据实际任意设定，可编程、分段加热 |
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外型尺寸/mm |
1500´750´1560 |
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微波泄漏/ mW/㎝ |
≤0.4 |
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提供相关配件 |
防护手套×1、中文说明书×1 |
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保质期 |
整机免费保修1年 |
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欢迎来厂考察、垂询或登陆我公司网站：http://www.rsjywb.com了解详情。联系人：董工15230983056
